典型 VOCs 污染源受控工艺设施和污染物项目
2022-08-05 08:48:12
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典型 VOCs污染源受控工艺设施和污染物项目
污染源 |
受控工艺设施 |
污染物项目 | |
汽车制造涂装 汽车维修保养 | 喷漆（胶）室 | 漆雾、苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃 | |
烘干室 | 苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃 | ||
金属铸造 | 造型制芯、浇铸冷却 | 非甲烷总烃 | |
半导体制造 |
酸性气体排气筒 | SiO2粉尘、硫酸雾、磷酸雾、硝酸雾、氟化物、氯化氢 | |
碱性气体排气筒 | 氨气 | ||
有毒气体排气筒 | 磷化氢、砷化氢、氯气 | ||
有机气体排气筒 | 非甲烷总烃 | ||
电子产品制造 | 电子元器件制造 |
零部件清洗、蚀刻工艺 |
氟化物、氯化氢、甲苯、非甲烷总烃 |
印刷电路板制造 | 裁板、钻孔工艺 | 颗粒物 | |
沉铜、电镀、蚀刻和表面处理工艺 | 硫酸雾、氨气、氯化氢 | ||
线路丝印、阻焊印刷和文字印刷等工艺 | 甲苯、非甲烷总烃 | ||
喷锡工艺 | 锡及其化合物 | ||
CRT 显示器制造 | 屏锥、框架清洗等工艺 | 硝酸雾、氟化物、氯化氢 | |
涂有机膜 | 甲苯、非甲烷总烃 | ||
LCD 显示器制造 | 基板清洗、光刻、剥离去胶、配向膜工艺 |
非甲烷总烃 | |
化学气相沉积（CVD）工艺 | 氯气、氨气、磷化氢 | ||
刻蚀工艺 | 氟化物、氯化氢 | ||
电子终端产品装配 | 机箱（机壳）喷塑工艺 | 树脂尘 | |
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