广州踏实半导体化工热解析方案

2021-08-13 09:11:42 HJX

广州踏实半导体化工热解析方案

半导体,化工材料制造检测中也多用到热解吸仪设备
案列:丙烯酸胶带用于半导体制造工艺中。对在半导体制造中使用的丙烯酸类胶带,通过释放气体分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加热过程中有恶臭味的瑕疵品和良品,并分析瑕疵品中产生气味的原因。
在半导体器件和化学品制造的分析中,痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用,甚至影响半导体产品的良品率。
半导体制造商需要在整个制造过程中拥有检测超痕量污染物的能力,包括晶圆、超纯水、化学试剂、光刻胶、电子特气、封装材料等。
半导体工艺的进步,对元素杂质和微粒污染物检测能力提出了更高的要求。
半导体行业中使用的有机化合物的纯度杂质影响到相关产品的质量。
半导体行业使用的有机试剂也会产生相应的挥发性有机物,对生产和环境造成污染,包括AMC、VOCs等。珀金埃尔默公司热脱附仪与气相色谱质谱联用,可实现洁净室或生产区域内空气的在线或离线采集进样,并检测出低浓度(<ppb)的有机污染物。


广州踏实半导体化工热解析方案

· GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
· GBT 33871-2017 墨粉中总挥发性有机化合物(TVOC)、苯和苯乙烯的测定 热脱附-气相色谱法

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